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Add to my wish list Fundamental Principles of Optical Lithography Chris Mack The fabrication of an integrated circuit requires a variety of physical and chemical processes to be performed on a semiconductor substrate. In general, these processes fall into three categories: film deposition, patterning, and semiconductor doping. Films of both... Publication date: 2011-08-10 Format: PDF, ePub Publisher: Wiley PDF ePub Add to basket £61,14

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Fundamental Principles of Optical Lithography

Chris Mack

The fabrication of an integrated circuit requires a variety of physical and chemical processes to be performed on a semiconductor substrate. In general, these processes fall into three categories: film deposition, patterning, and semiconductor doping. Films of both...

Publication date: 2011-08-10

Format: PDF, ePub

Publisher: Wiley

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