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Add to my wish list Mems/Nems Cornelius T. Leondes As miniaturization, batch fabrication, and integrated electronics rapidly enable the development of a broad range of smart products, MEMs, MOEMS, and NEMS are creating enormous opportunities for commerce and functionality. This significant and uniquely comprehensive... Publication date: 2007-10-08 Format: PDF Publisher: Springer Add to basket £449,50

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As miniaturization, batch fabrication, and integrated electronics rapidly enable the development of a broad range of smart products, MEMs, MOEMS, and NEMS are creating enormous opportunities for commerce and functionality. This significant and uniquely comprehensive...

Publication date: 2007-10-08

Format: PDF

Publisher: Springer

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