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Add to my wish list Ion Implantation and Annealing Applications, Science and Technology Michael Current , Wilfried Lerch This book compiles the insights and teachings from the 2024 IIT School lectures, offering a comprehensive look at ion implantation and annealing in semiconductor manufacturing. It covers the history of integrated circuits, common applications in CMOS technology, ion... Publication date: 2026-05-29 Format: PDF, ePub Publisher: Springer PDF ePub Add to basket £199,50

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Ion Implantation and Annealing Applications, Science and Technology

Michael Current , Wilfried Lerch

This book compiles the insights and teachings from the 2024 IIT School lectures, offering a comprehensive look at ion implantation and annealing in semiconductor manufacturing. It covers the history of integrated circuits, common applications in CMOS technology, ion...

Publication date: 2026-05-29

Format: PDF, ePub

Publisher: Springer

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