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Add to my wish list Multi-Wafer Rotating MEMS Machines Jeffrey Lang Multi-Wafer Rotating MEMS Machines: Turbines, Generators, and Engines is an outgrowth of the MIT Micro Engine Project. This project began at the Massachusetts Institute of Technology in the Fall of 1995, and later expanded through collaborations with the Georgia... Publication date: 2009-09-18 Format: ePub Publisher: Springer Collection: MEMS Reference Shelf Add to basket £129,50

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Multi-Wafer Rotating MEMS Machines

Jeffrey Lang

Multi-Wafer Rotating MEMS Machines: Turbines, Generators, and Engines is an outgrowth of the MIT Micro Engine Project. This project began at the Massachusetts Institute of Technology in the Fall of 1995, and later expanded through collaborations with the Georgia...

Publication date: 2009-09-18

Format: ePub

Publisher: Springer

Collection: MEMS Reference Shelf

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