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Add to my wish list Analysis and Design Principles of MEMS Devices Minhang Bao Sensors and actuators are now part of our everyday life and appear in many appliances, such as cars, vending machines and washing machines. MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) are micro systems consisting of micro mechanical sensors, actuators and micro electronic... Publication date: 2005-04-12 Format: epub DRM-free Publisher: Elsevier Science Add to basket £81,23

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Analysis and Design Principles of MEMS Devices

Minhang Bao

Sensors and actuators are now part of our everyday life and appear in many appliances, such as cars, vending machines and washing machines. MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) are micro systems consisting of micro mechanical sensors, actuators and micro electronic...

Publication date: 2005-04-12

Format: epub DRM-free

Publisher: Elsevier Science

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