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Add to my wish list Microsystem Technology Wolfgang Menz , Jürgen Mohr , Oliver Paul This completely revised edition of a bestselling concise introduction to microsystems technology includes the latest trends in this emerging scientific discipline. The chapters on silicium and LIGA technology are greatly expanded, whilst new topics include application... Publication date: 2008-07-11 Format: PDF Publisher: Wiley-VCH Add to basket £210,95

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Microsystem Technology

Wolfgang Menz , Jürgen Mohr , Oliver Paul

This completely revised edition of a bestselling concise introduction to microsystems technology includes the latest trends in this emerging scientific discipline. The chapters on silicium and LIGA technology are greatly expanded, whilst new topics include application...

Publication date: 2008-07-11

Format: PDF

Publisher: Wiley-VCH

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