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Add to my wish list Science and Technology of Defects in Silicon A. Chantre , C.A.J. Ammerlaan , P. Wagner This volume reviews recent developments in the materials science of silicon. The topics discussed range from the fundamental characterization of the physical properties to the assessment of materials for device applications, and include: crystal growth; process-induced... Publication date: 2014-01-01 Format: PDF DRM-free Publisher: North Holland Add to basket £46,41

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Science and Technology of Defects in Silicon

A. Chantre , C.A.J. Ammerlaan , P. Wagner

This volume reviews recent developments in the materials science of silicon. The topics discussed range from the fundamental characterization of the physical properties to the assessment of materials for device applications, and include: crystal growth; process-induced...

Publication date: 2014-01-01

Format: PDF DRM-free

Publisher: North Holland

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