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Add to my wish list Principles of Plasma Discharges and Materials Processing Allan J. Lichtenberg , Michael A. Lieberman A new edition of this industry classic on the principles of plasma processing Plasma-based technology and materials processes have been central to the revolution of the last half-century in micro- and nano-electronics. From anisotropic plasma etching on microprocessors,... Publication date: 2024-08-28 Format: PDF, ePub Publisher: Wiley PDF ePub Add to basket £104,39

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Principles of Plasma Discharges and Materials Processing

Allan J. Lichtenberg , Michael A. Lieberman

A new edition of this industry classic on the principles of plasma processing Plasma-based technology and materials processes have been central to the revolution of the last half-century in micro- and nano-electronics. From anisotropic plasma etching on microprocessors,...

Publication date: 2024-08-28

Format: PDF, ePub

Publisher: Wiley

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