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Add to my wish list Fabrication and Design of Resonant Microdevices Behraad Bahreyni This book discusses the main issues of fabrication and design, and applications of micromachined resonant devices, including techniques commonly used for processing the output signal of resonant micro-electro-mechanical systems (MEMS). Concepts of resonance are... Publication date: 2008-10-20 Format: epub DRM-free Publisher: William Andrew Add to basket £121,32

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Fabrication and Design of Resonant Microdevices

Behraad Bahreyni

This book discusses the main issues of fabrication and design, and applications of micromachined resonant devices, including techniques commonly used for processing the output signal of resonant micro-electro-mechanical systems (MEMS). Concepts of resonance are...

Publication date: 2008-10-20

Format: epub DRM-free

Publisher: William Andrew

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