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Add to my wish list Thin Films by Chemical Vapour Deposition C.E. Morosanu The explosive growth in the semiconductor industry has caused a rapid evolution of thin film materials that lend themselves to the fabrication of state-of-the-art semiconductor devices. Early in the 1960s an old research technique named chemical vapour phase deposition... Publication date: 2016-06-22 Format: PDF DRM-free Publisher: Elsevier Science Add to basket £60,12

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Thin Films by Chemical Vapour Deposition

C.E. Morosanu

The explosive growth in the semiconductor industry has caused a rapid evolution of thin film materials that lend themselves to the fabrication of state-of-the-art semiconductor devices. Early in the 1960s an old research technique named chemical vapour phase deposition...

Publication date: 2016-06-22

Format: PDF DRM-free

Publisher: Elsevier Science

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