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Add to my wish list Plasma Processing for VLSI Dale M. Brown , Norman G. Einspruch VLSI Electronics: Microstructure Science, Volume 8: Plasma Processing forVLSI (Very Large Scale Integration) discusses the utilization of plasmas for general semiconductor processing. It also includes expositions on advanced deposition of materials for metallization,... Publication date: 2014-12-01 Format: PDF DRM-free Publisher: Academic Press Add to basket £60,12

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Plasma Processing for VLSI

Dale M. Brown , Norman G. Einspruch

VLSI Electronics: Microstructure Science, Volume 8: Plasma Processing forVLSI (Very Large Scale Integration) discusses the utilization of plasmas for general semiconductor processing. It also includes expositions on advanced deposition of materials for metallization,...

Publication date: 2014-12-01

Format: PDF DRM-free

Publisher: Academic Press

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