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Add to my wish list Plasma Etching Daniel L. Flamm , Dennis M. Manos Plasma etching plays an essential role in microelectronic circuit manufacturing. Suitable for researchers, process engineers, and graduate students, this book introduces the basic physics and chemistry of electrical discharges and relates them to plasma etching... Publication date: 1989-09-08 Format: ePub Publisher: Academic Press Add to basket £46,41

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Plasma Etching

Daniel L. Flamm , Dennis M. Manos

Plasma etching plays an essential role in microelectronic circuit manufacturing. Suitable for researchers, process engineers, and graduate students, this book introduces the basic physics and chemistry of electrical discharges and relates them to plasma etching...

Publication date: 1989-09-08

Format: ePub

Publisher: Academic Press

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