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Add to my wish list Chemistry for Electronic Materials G. Wahl , K.F. Jensen , T. Hirai , Yves Pauleau The chemical aspects of materials processing used for electronic applications, e.g. Si, III-V compounds, superconductors, metallization materials, are covered in this volume. Significant recent advances have occurred in the development of new volatile precursors for the... Publication date: 1993-03-09 Format: PDF DRM-free Publisher: North Holland Add to basket £46,41

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Chemistry for Electronic Materials

G. Wahl , K.F. Jensen , T. Hirai , Yves Pauleau

The chemical aspects of materials processing used for electronic applications, e.g. Si, III-V compounds, superconductors, metallization materials, are covered in this volume. Significant recent advances have occurred in the development of new volatile precursors for the...

Publication date: 1993-03-09

Format: PDF DRM-free

Publisher: North Holland

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