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Add to my wish list Fast Simulation of Electro-Thermal MEMS Tamara Bechtold , Jan G. Korvink , Evgenii B. Rudnyi Fast Simulation of Electro-Thermal MEMS provides the reader with a complete methodology and software environment for creating efficient dynamic compact models for electro-thermal MEMS devices. It supplies the basic knowledge and understanding for using model order... Publication date: 2006-11-01 Format: PDF Publisher: Springer Collection: Microtechnology and MEMS Add to basket £89,50

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Fast Simulation of Electro-Thermal MEMS

Tamara Bechtold , Jan G. Korvink , Evgenii B. Rudnyi

Fast Simulation of Electro-Thermal MEMS provides the reader with a complete methodology and software environment for creating efficient dynamic compact models for electro-thermal MEMS devices. It supplies the basic knowledge and understanding for using model order...

Publication date: 2006-11-01

Format: PDF

Publisher: Springer

Collection: Microtechnology and MEMS

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