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Add to my wish list Micromachined Thin-Film Sensors for SOI-CMOS Co-Integration Denis Flandre , Jean Laconte , Jean-Pierre Raskin Co-integration of sensors with their associated electronics on a single silicon chip may provide many significant benefits regarding performance, reliability, miniaturization and process simplicity without significantly increasing the total cost. Micromachined Thin-Film... Publication date: 2006-10-11 Format: PDF Publisher: Springer Add to basket £129,50

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Micromachined Thin-Film Sensors for SOI-CMOS Co-Integration

Denis Flandre , Jean Laconte , Jean-Pierre Raskin

Co-integration of sensors with their associated electronics on a single silicon chip may provide many significant benefits regarding performance, reliability, miniaturization and process simplicity without significantly increasing the total cost. Micromachined Thin-Film...

Publication date: 2006-10-11

Format: PDF

Publisher: Springer

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