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Read sample Add to my wish list Ion Implantation and Synthesis of Materials James W. Mayer , Michael Nastasi Ion implantation is one of the key processing steps in silicon integrated circuit technology. Some integrated circuits require up to 17 implantation steps and circuits are seldom processed with less than 10 implantation steps. Controlled doping at controlled depths is... Publication date: 2007-05-16 Format: PDF Publisher: Springer Add to basket £89,50

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Ion Implantation and Synthesis of Materials

James W. Mayer , Michael Nastasi

Ion implantation is one of the key processing steps in silicon integrated circuit technology. Some integrated circuits require up to 17 implantation steps and circuits are seldom processed with less than 10 implantation steps. Controlled doping at controlled depths is...

Publication date: 2007-05-16

Format: PDF

Publisher: Springer

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