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Read sample Add to my wish list Techniques de fabrication des microsystèmes 1 : structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces Michel De Labachelerie Le premier volume présente les procédés de fabrication fondés sur la photolithographie, et qui permettent de réaliser les microstructures en couches minces utilisées pour fabriquer des micromoteurs, des microaccéléromètres ou encore des matrices de... Publication date: 2004-05-12 Format: PDF DRM-free Publisher: Hermés science Collection: Traité EGEM Add to basket £96,02
Read sample Add to my wish list Techniques de fabrication des microsystèmes 2 : systèmes microélectromécaniques 3D et intégration de matériaux actionneurs Michel De Labachelerie Le second volume présente les procédés de fabrication utilisés dans la réalisation de microsystèmes fondés sur des microstructures électromécaniques " épaisses ", inhabituelles dans le domaine de la microélectronique. La photolithographie utilisant des... Publication date: 2004-05-12 Format: PDF DRM-free Publisher: Hermés science Collection: Traité EGEM Add to basket £96,02

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Techniques de fabrication des microsystèmes 1 : structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces

Michel De Labachelerie

Le premier volume présente les procédés de fabrication fondés sur la photolithographie, et qui permettent de réaliser les microstructures en couches minces utilisées pour fabriquer des micromoteurs, des microaccéléromètres ou encore des matrices de...

Publication date: 2004-05-12

Format: PDF DRM-free

Publisher: Hermés science

Collection: Traité EGEM

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Techniques de fabrication des microsystèmes 2 : systèmes microélectromécaniques 3D et intégration de matériaux actionneurs

Michel De Labachelerie

Le second volume présente les procédés de fabrication utilisés dans la réalisation de microsystèmes fondés sur des microstructures électromécaniques " épaisses ", inhabituelles dans le domaine de la microélectronique. La photolithographie utilisant des...

Publication date: 2004-05-12

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Publisher: Hermés science

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