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Contraintes mécaniques en micro, nano et optoélectronique


Mireille Mouis


La maîtrise des contraintes mécaniques internes constitue un enjeu majeur de la micro-nano-électronique et de l'optoélectronique, tant au niveau des composants actifs (transistors ou lasers par exemple) que des interconnexions. Les procédés de réalisation des composants...

Publication date: 2006-06-01
Format: PDF DRM-free
Publisher: Hermés science
Collection: Traité EGEM
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£118,88

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