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Add to my wish list Dry Etching for Microelectronics R.A. Powell This volume collects together for the first time a series of in-depth, critical reviews of important topics in dry etching, such as dry processing of III-V compound semiconductors, dry etching of refractory metal silicides and dry etching aluminium and aluminium alloys.... Publication date: 2012-12-02 Format: PDF DRM-free Publisher: North Holland Add to basket £46,41

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Dry Etching for Microelectronics

R.A. Powell

This volume collects together for the first time a series of in-depth, critical reviews of important topics in dry etching, such as dry processing of III-V compound semiconductors, dry etching of refractory metal silicides and dry etching aluminium and aluminium alloys....

Publication date: 2012-12-02

Format: PDF DRM-free

Publisher: North Holland

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