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Add to my wish list Flash Lamp Annealing Slawomir Prucnal , Lars Rebohle , Denise Reichel This book provides a comprehensive survey of the technology of flash lamp annealing (FLA) for thermal processing of semiconductors. It gives a detailed introduction to the FLA technology and its physical background. Advantages, drawbacks and process issues are addressed... Publication date: 2019-07-27 Format: PDF, ePub Publisher: Springer Collection: Springer Series in Materials Science PDF ePub Add to basket £109,50

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Flash Lamp Annealing

Slawomir Prucnal , Lars Rebohle , Denise Reichel

This book provides a comprehensive survey of the technology of flash lamp annealing (FLA) for thermal processing of semiconductors. It gives a detailed introduction to the FLA technology and its physical background. Advantages, drawbacks and process issues are addressed...

Publication date: 2019-07-27

Format: PDF, ePub

Publisher: Springer

Collection: Springer Series in Materials Science

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