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Add to my wish list Nanofabrication Steven Dew , Maria Stepanova Intended to update scientists and engineers on the current state of the art in a variety of key techniques used extensively in the fabrication of structures at the nanoscale. The present work covers the essential technologies for creating sub 25 nm features... Publication date: 2011-11-08 Format: ePub Publisher: Springer Add to basket £129,50

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Intended to update scientists and engineers on the current state of the art in a variety of key techniques used extensively in the fabrication of structures at the nanoscale. The present work covers the essential technologies for creating sub 25 nm features...

Publication date: 2011-11-08

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