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Add to my wish list Micro Mechanical Systems Wolfgang Menz , T. Fukuda In ten sections this book describes the principles and technology of Micro Mechanical Systems. Section one is a general introduction to the historical background and the parallels to microelectronics, reviewing the motivation for microsystems, and discussing ... Publication date: 1998-07-24 Format: PDF, epub DRM-free Publisher: Elsevier Science PDF epub DRM-free Add to basket £189,90

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In ten sections this book describes the principles and technology of Micro Mechanical Systems. Section one is a general introduction to the historical background and the parallels to microelectronics, reviewing the motivation for microsystems, and discussing ...

Publication date: 1998-07-24

Format: PDF, epub DRM-free

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