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Add to my wish list Multilayer Integrated Film Bulk Acoustic Resonators Da Chen , Yafei Zhang Mulilayer Integrated Film Bulk Acoustic Resonators mainly introduces the theory, design, fabrication technology and application of a recently developed new type of device, multilayer integrated film bulk acoustic resonators, at the micro and nano scale involving... Publication date: 2012-08-28 Format: ePub Publisher: Springer Add to basket £89,50

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Multilayer Integrated Film Bulk Acoustic Resonators

Da Chen , Yafei Zhang

Mulilayer Integrated Film Bulk Acoustic Resonators mainly introduces the theory, design, fabrication technology and application of a recently developed new type of device, multilayer integrated film bulk acoustic resonators, at the micro and nano scale involving...

Publication date: 2012-08-28

Format: ePub

Publisher: Springer

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