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Add to my wish list Microelectronic Applications of Chemical Mechanical Planarization Yuzhuo Li An authoritative, systematic, and comprehensive description of current CMP technology Chemical Mechanical Planarization (CMP) provides the greatest degree of planarization of any known technique. The current standard for integrated circuit (IC) planarization, CMP is... Publication date: 2007-12-04 Format: PDF Publisher: Wiley-Interscience Add to basket £185,63

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Microelectronic Applications of Chemical Mechanical Planarization

Yuzhuo Li

An authoritative, systematic, and comprehensive description of current CMP technology Chemical Mechanical Planarization (CMP) provides the greatest degree of planarization of any known technique. The current standard for integrated circuit (IC) planarization, CMP is...

Publication date: 2007-12-04

Format: PDF

Publisher: Wiley-Interscience

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£185,63

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